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    产品资料

    ZH10669自动椭圆偏振测厚仪

    如果您对该产品感兴趣的话,可以
    产品名称: ZH10669自动椭圆偏振测厚仪
    产品型号: ZH10669
    产品展商: ghitest
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    简单介绍

    仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。 仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。


    ZH10669自动椭圆偏振测厚仪  的详细介绍
    产品简介:
    仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
    仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
    指标：
    测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm;折射率范围：1-10
    测量示值：≤1nm
    入 射 角：20°- 90°精度≤0.05°
    偏振器方位角范围：0°- 180°
    度盘刻度：每格1度
    偏振器步进角：0.014°/步
    仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
    测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005
    光学中心高度：80mm
    允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
    外形尺寸：680*390*310mm
    主机重量：26kg
    仪器成套性：
    主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）。
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